金相顯微鏡(metallurgicalmicroscope)是用入射照明來觀察金屬試樣表面(金相組織)的顯微鏡,它是將光學(xué)顯微鏡技術(shù)、光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、計算機圖像處理技術(shù)完美地結(jié)合在一起而開發(fā)研制成的高科技產(chǎn)品,可以在計算機上很方便地觀察金相圖像,從而對金相圖譜進行分析,評級等以及對圖片進行輸出、打印。
掃描電鏡一種新型的電子光學(xué)儀器。它具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點。數(shù)十年來,掃描電鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中,促進了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展。
兩種顯微鏡存在很大的區(qū)別,主要有以下幾方面:
一、光源不同:金相顯微鏡采用可見光作為光源,掃描電鏡采用電子束作為光源成像。
二、原理不同:金相顯微鏡利用幾何光學(xué)成像原理進行成像,掃描電鏡利用高能量電子束轟擊樣品表面,激發(fā)出樣品表面的各種物理信號,再利用不同的信號探測器接受物理信號轉(zhuǎn)換成圖像信息。
三、分辨率:金相顯微鏡因為光的干涉與衍射作用,分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。掃描電鏡因為采用電子束作為光源,其分辨率可達(dá)到1-3nm之間,因此金相顯微鏡的組織觀察屬于微米級分析,掃描電鏡的組織觀測屬于納米級分析。
四、景深:一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間,因此對樣品的表面光滑程度具有*的要求,所以制樣過程相對比較復(fù)雜。掃描電鏡的景深則可高達(dá)幾個。